Herstellungsprozesse in der Halbleiterindustrie erfordern in fast jeder Phase Reinstwasser. Die Aufbereitung von Zulaufwasser auf ein hochwertiges Niveau erfordert Prozesse und Wasseraufbereitungstechnologien, um Verunreinigungen, Mineralien, Mikroorganismen und organische und nichtorganische Chemikalien zu entfernen. Die heutigen Anforderungen an die Wasserqualität zu erfüllen, ist nicht gut genug und Xylem weiß, dass der nächste Technologiezyklus noch strengere Spezifikationen erfordert, die die Kosten jedes produzierten Chips erhöhen. Unser umfassendes Technologieportfolio kann die drei Schritte eines Reinstwassersystems abdecken: Make-up-, Primär- und Poliersysteme.
3 Schritte eines Reinstwassersystems:
- Make-up-Systeme – umfassen Filtration, granulare Aktivkohle-/Chlorkontrolle, Enthärtungs-/Skalierungskontrolle, pH-Einstellung und Umkehrosmose.
- Primärsysteme - umfassen TOC-Reduktion UV, membranbasierte Entgasung, Entionisierung (CDI oder Mischbetten) und Submikron-Filtration. Die VNX-EX CDI-Systeme von Xylem wurden speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt und bieten eine unübertroffene Fähigkeit zur Entfernung von Siliziumdioxid und Bor.
- Poliersysteme - umfassen TOC-Reduktions-UV, membranbasierte Entgasung, Mischbetten-Deionisierung, Submikron-Filtration und Ultrafiltration. Xylems NR-45 Meg Nano Mischbett-Ionenaustauschharz ist unser Produkt der neuesten Generation, das gemäß SEMI C-93-Protokollen getestet wurde.
Um sicherzustellen, dass Ihr Wassersystem mit Spitzenleistung arbeitet, können wir über unseren Water One®-Service einen beispiellosen Service bieten, eine revolutionäre digitale Wassermanagementlösung, die das Wasser-Know-how von Xylem, proaktiven Service, bewährte Technologie und Datenintelligenz kombiniert. Water One stellt sicher, dass Ihr Wasseraufbereitungssystem vollständig optimiert wird, indem Technologie zur Steigerung der Effizienz in Betrieb und Service eingesetzt wird.
Wir können auch beim Austausch von Mischbettharzen, bei der vorbeugenden Wartung und bei Betriebsverträgen helfen. Unsere Nachrüstungs- und Aufrüstungslösungen verbessern die Wasserqualität und Zuverlässigkeit, reduzieren die Betriebskosten und erhöhen die Kapazität. Für Point-of-Use-Anwendungen (POU) produzieren unsere Vanox® POU-System- und Vanox POU-F-Filtrationsprodukte Wasser, das die ASTM E-1.2-Normen übertrifft.
