L’identification des systèmes de recyclage de l’eau dans l’industrie microélectronique peut être un défi. Les facteurs contributifs comprennent une composition variable de nombreux flux d’eaux usées et le fait d’avoir plusieurs emplacements où l’eau récupérée pourrait être réintroduite dans l’installation. Il existe plusieurs stratégies pour sélectionner les flux de déchets et leurs points de réintroduction après le traitement. La stratégie correcte pour votre installation est déterminée en fonction des niveaux de concertation des impuretés et des objectifs de recyclage de l’eau.
Objectifs de réutilisation de l’eau
Les flux de déchets présentant la plus faible concentration d’impuretés sont les mieux adaptés pour être réutilisés dans un système d’eau ultrapure (UPW). Tandis que les flux de déchets avec la concentration la plus élevée conviennent mieux aux applications sans contact telles que les tours de refroidissement et les épurateurs de réduction. Les fabricants de microélectronique doivent également prendre en compte les objectifs de recyclage de l' eau. Les objectifs peuvent inclure la réduction de la consommation d’eau de la ville aux niveaux de production actuels, le maintien de la consommation d’eau tout en étendant la production ou simplement la réduction du rejet de liquide de l’installation.
Technologies utilisées dans les systèmes de réutilisation de l’eau :
- Systèmes de filtration à haut rendement
- Minimiser les déchets de lavage à contre-courant
- Réduire la consommation d’eau et économiser de l’énergie
- Minimiser les besoins de maintenance
- Systèmes d’osmose inverse
- Réduire les anions, les métaux, la silice, etc.
- Membrane semi-perméable utilisée pour éliminer les solides
- Processus d’oxydation UV ou avancée (AOP) conventionnel
- Réduction du COT
- Désactiver efficacement une gamme de microorganismes
- Capacités de recyclage de l’eau pour atteindre les objectifs globaux de durabilité
En plus de l’équipement de traitement, les réservoirs d’égalisation de débit, les instruments analytiques rapides en ligne et les vannes de dérivation automatisées sont courants pour la minimisation des risques.
Les processus de traitement des eaux usées existants doivent réduire les contaminants résiduels à des niveaux acceptables, dictés par les critères de qualité de l’eau du point de réintroduction
