液体资产：通过水资源再利用技术提高半导体行业的韧性

水资源短缺不仅仅是一个环境和公共卫生问题，它还对工业和经济构成严重威胁。半导体行业就是一个高度依赖洁净水源稳定供应的行业。几乎制造流程的每个环节都需要用到超纯水。半导体器件体积小且极其敏感，因此，即便水中杂质含量仅为万亿分之几，都可能导致代价高昂的制造缺陷。这就是为什么制造商在芯片生产过程中需要可靠的超纯水源的原因。

Making Waves采访了赛莱默微电子市场团队的超纯水(UPW)技术总监Glen Sundstrom，探讨先进技术如何帮助制造商降低水资源短缺风险、减少对市政供水的依赖并提高其可持续性信誉。

为什么半导体制造商必须为水资源短缺做好规划？

据联合国环境规划署称，“半导体制造业是特别容易受到干旱风险影响的领域之一，因为相对于产出而言，该行业的用水强度很高。”最近的一项研究显示，到2030年，至少有40%的半导体制造工厂将位于可能面临高度缺水风险的流域。

由于许多工厂所在地区都在努力确保水资源安全，因此必须尽量减少对外部水源（如市政供水、饮用水）的依赖。

水资源短缺已经给整个行业带来了困扰。几年前，台湾遭遇有记录以来最严重的干旱，半导体公司不得不用卡车运水来维持生产水平。

有哪些技术可以帮助半导体制造商应对水资源短缺风险？

半导体公司正在利用先进技术来优化他其用水系统，降低用水风险。这些一流的解决方案使制造商能够更高效地对水进行处理、管理和再利用。采用 水资源再利用 技术的工厂减轻了水资源短缺带来的影响，并最大程度地降低了对外部市政供水的依赖。其中，Silfex表现尤为突出，该公司是制造和操作半导体制造设备所用精密部件的领先供应商。

Silfex与赛莱默合作，大大改善了其俄亥俄州斯普林菲尔德工厂的水资源可持续性。

双方共同设计了一种盐水回收反渗透膜和超纯水系统，用于收集反渗透(RO)废水和精密清洗过程中溢出的水，并在整个运营过程中循环使用。这一举措取得了颠覆性的成果。

Silfex是如何发现在工厂推动可持续发展的机会并取得进展的？

Silfex俄亥俄州工厂的操作人员首先对工厂的水处理系统进行了全面评估。其中包括对系统进行逐个检查，以测量各种废水流的流量和水中的化学物质。操作人员根据处理方案的难易程度和可靠性对每种废水流进行分类，以发现可以立即提高水资源再利用率的机会和潜在的长期解决方案。

这一过程帮助Silfex发现机会并迅速取得成效，其中包括通过创新的盐水回收RO膜来回收反渗透废水，从而使特定超纯水系统的废水流减少了15%。

Silfex是如何在这些早期成果的基础上进一步优化其废水流的？

Silfex工厂仍在产生大量具有回收和再利用潜力的洁净室废水。在对从洁净室流出的废水进行深入分析后，Silfex和赛莱默制定出一项计划，对可回收且风险最小的废水进行分离、引流和单独处理，以最大限度地提高回收再利用率。Silfex将工艺负责人召集在一起，确定每种废水流的进水水质要求、限制条件和水质影响，确保达到质量标准，从而提高了相关人员的参与度。 

通过寻找收集和分类洁净室废水的创新方法，Silfex工厂可以回收再利用高达80%的废水，从而避免这些废水成为废水流。

这一重大进步将为俄亥俄州的这家制造工厂每年节约数百万加仑的水，在大幅降低用水量的同时，增强其抵御任何供水短缺风险的能力。该系统还将减少对预处理市政水源的需求，从而大大节省水软化盐和其他化学品的费用。

Silfex总经理Rob Skrobak表示：“创新和持续改进是Silfex核心价值观的一部分，这个项目正是这些价值观付诸实践的例证。”

Silfex对水资源回收利用进行创新的承诺是如何推进公司实现可持续发展目标的？

Silfex在俄亥俄州的成功有助于推动其母公司泛林集团(Lam Research Corporation)实现更广泛的可持续发展目标。泛林集团致力于探索和投资节水技术和效率升级，重点是寻找方法将工艺废水再利用，以支持其他领域的运营。该公司在其年度可持续发展报告中特别强调了俄亥俄州的这个项目，并将其作为以负责任和可持续的方式管理水资源的一个重要范例。泛林集团已经超额完成了到2025年在缺水地区实现节水1,700万加仑（以2019年为基线）的目标，更是将2025年的目标更新为节水8,000万加仑。

2023年，Silfex荣获Evoqua（懿华水处理）颁发的“北美年度水资源可持续利用奖”。