硅片衬底的纯度影响着集成设备制造商保持和/或提高产量的能力。随着硅片的几何尺寸越来越小,硅片中的污染也越来越严格。金属(包括硼)、二氧化硅、总有机碳和颗粒是需要减少的最常见污染物。
Xylem为硅和多晶硅生产和制造过程中的多个阶段提供了各种量身定制的解决方案。无论您需要超纯水、废水或水再利用解决方案,我们都能支持您的生产和排放需求,同时帮助您实现可持续发展目标。
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