定制的多工艺段解决方案提高了超纯水 (UPW)的生产效率
Silanna半导体是一家澳大利亚公司，专门从事先进半导体的设计和制造。该公司在行业内处于市场领导地位，为通信、太空、国防、医疗和消费市场提供功率控制和UVC LED半导体。该公司在北美、欧洲、亚洲和澳大利亚设有专门的办事处，业务覆盖全球，并随时准备进入一系列新的市场和行业。
挑战
Silanna半导体公司在澳大利亚布里斯班开发新的半导体制造厂时面临着一个重大难题。该工厂旨在扩大该公司最先进的UVC LED的生产线，但确保足够可靠的超纯水供应在过去被证明是一个关键问题。
在半导体制造过程中，超纯水 (UPW) 对于防止污染至关重要。与许多先进的制造工艺一样，即使是最低的污染水平 (低至十亿分之几，即ppb级) 也可能导致无法接受的低产量，并导致非常的浪费。新的布里斯班工厂要求使用ASTM D5127-13 Type E-1级的超纯水，其要求总有机碳 (TOC) 含量低于5 ppb，电阻率为18.1 MΩ.cm。
这意味着Silanna半导体公司需要可靠且经过验证的超纯水 (UPW) 处理技术，以实现并保持其生产工艺中所需的特殊标准。
解决方案
为了满足Silanna 半导体公司对超纯水 (UPW) 的需求，Evoqua公司提出了一种定制的多工艺段解决方案，该解决方案将利用容易获得的市政自来水生产超纯水 (UPW)。该工艺分为三个阶段：预处理；初级去离子；最后是超纯水 (UPW) 抛光回路。.
Evoqua团队利用其内部技术和专业知识管理项目的各个方面，包括设计、选型、安装、调试和服务。Evoqua公司为高级多工艺段处理工艺提供的设备包括Vantage® PTC多介质过滤、Vantage® PTC活性炭过滤、Vantage® 反渗透、Ionpure® CEDI连续电去离子膜堆、ATG™ UV - VT TOC降低系统和SDI抛光混床。
Evoqua公司于2020年开始为Silanna半导体公司设计和建造超纯水 (UPW) 系统。Evoqua公司负责超纯水 (UPW) 系统中的所有关键设备，在设计过程中优化了每个工艺段，以确保最佳的性能和用水效率。然而，新冠肺炎疫情、随后的活动限制和旅行限制导致现场施工严重延误。
为了缓解这些延误，Evoqua公司在装运前进行了设备组装和工艺橇装设备的工厂测试。在预调试期间，取样结果表明，该系统已经实现了关键的里程碑之一：生产出电阻率为18.1 MΩ.cm的水 (从Ionpure® CEDI系统)。这一成就使超纯水 (UPW) 能够被引入到抛光回路中，用于ATG™ VT TOC UV系统和SDI抛光混床的调试。
结果
Evoqua公司成功调试并将完整的超纯水 (UPW) 系统移交给Silanna半导体公司。为了验证该系统的性能，在几个月内收集了水质样品，并将其发送给经过认证的第三方进行测试。超纯水 (UPW) 系统的成功实施表明，尽管全球疫情带来了挑战，Evoqua公司仍有能力提供量身定制的解决方案。
与Evoqua公司合作并安装定制的系统为Silanna半导体公司带来了许多好处，并满足了所有要求的指标。设备和工艺设计超出了公司的预期，为超纯水的生产提供了有记录的2.1 ppb的TOC水平和大于18.1MΩ.cm的电阻率。此外，Evoqua公司的整体解决方案继续降低超纯水 (UPW) 生产的维护需求。这减少了消毒耗时，这最大限度地减少了成本高昂的生产停机时间。反过来，这使得Silanna半导体公司能够专注于其核心业务，并完全相信其超纯水 (UPW) 系统将继续达到高标准。
重要的是，该项目具有强有力的可持续发展目标，这些目标也得到了实现。Evoqua公司通过将70%的城市用水转化为Type E-1 级超纯水 (UPW) 的项目用水效率要求，帮助Silanna 半导体公司实现了其环境目标。Evoqua公司创新的Ionpure® CEDI系统的使用消除了对再生化学品的需求，减少了化学品消耗和产生的废水。此外，ATG™ UV VT TOC系统降低了抛光混床更换树脂的频率，最大限度地减少了生产停机时间，并有助于实现更可持续的生产工艺。通过这些措施，Evoqua公司展示了其为客户提供高质量和环保解决方案的承诺。